¾î´À ¶§ º¸´Ùµµ »ê¾÷°èÀÇ È°¹ßÇÑ Âü¿©·Î ´õ¿í dz¼ºÇØÁø Çѱ¹Ç¥¸é°øÇÐȸ(ȸÀå: ÀÌÈ«±â) Ãß°èÇмú´ëȸ°¡ °æ±âµµ ±¤ÁÖ¿¡ ¼ÒÀçÇÑ °ïÁö¾Ï¸®Á¶Æ®¿¡¼ 11¿ù 26¡27ÀÏ ¾çÀϰ£ Ä¡·¯Á³´Ù. Ç¥¸é°øÇÐȸ°¡ ¹ß°£ÇÑ 13±ÇÀÇ Ç¥¸é󸮱â¼ú½Ã¸®ÁîÀÇ ÀúÀÚ°¡ °»ç·Î ³ª¼´Â Ç¥¸é󸮰½Àȸµµ ÇÔ²² ÁøÇàÇØ ¿±â¸¦ ´õÇß´Ù.
À̹ø Çмúȸ´Â Çаè¿Í ¾÷°è ¹× ±â°ü °ü°èÀÚ¸¦ ´Ù¾çÇÏ°Ô ÃÊÃ»ÇØ Ưº°¹ßÇ¥¸¦ ±âȹÇÏ¿´´Ù. ù°³¯¿¡´Â Ãæ³²´ëÇб³ ÀÌÈ«·Î ±³¼öÀÇ ¡®¹é»ö LED¸¦ À§ÇÑ Çü±¤Ã¼ ¹ßÀü¡¯, LS¿¥Æ®·ÐÀÇ ±è¿µÅ ´ëÇ¥ÀÇ ¡®Display ¼ÒÀç¿ë Sputtering Type FCCLÀÇ ±â¼ú µ¿Ç⡯À» ÁÖÁ¦·Î ¹ßÇ¥°¡ ÀÖ¾ú´Ù. µÑ°³¯Àº ¼¿ï´ëÇб³ ÀÌÁ¤Áß ±³¼öÀÇ ¡®Application OF Inductively Coupled Plasma to PVD and CVD¡¯, »ï¼ºÀüÀÚÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ ÀÌÀçö ¿¬±¸¿øÀÇ ¡®Ç¥¸é ºÐ¼® ±â¼úÀÇ ¼Ò°³ ¹× ÀÀ¿ë¡¯, ½ºÆ¼ºì½º°ø°ú´ëÇб³ ÃÖâȯ ±³¼öÀÇ ¡®Bioinspired Nanoengineering of Multifunctional Superhydrophobic Surfaces', ¼±¹®´ëÇб³ À̼ö¿Ï ±³¼öÀÇ Standardization of ISO/TC107 Metallic and Inorganic Coatings'¸¦ ÁÖÁ¦·Î ÃÊû°¿¬ÀÌ ÁøÇàµÆ´Ù.
À̹ø Çà»ç´Â »ýüÀç·á Ç¥¸éó¸®(ÁÂÀå: ÃÖÇÑö), Ç¥¸é±â¼úÀÀ¿ë(ÁÂÀå: ÀÌÁÖ¿), ¸¶±×³×½· Ç¥¸éó¸® ±â¼ú(ÁÂÀå: ¹®¼º¸ð), WPM(ÁÂÀå: °û¿µÁø), »êȹ°ÄÚÆÃ(ÁÂÀå: ±èÁ¾±¹), Àü·«Àû ÇٽɼÒÀç(ÁÂÀå: Àü»óÇö), ½Ç¿ëµµ±Ý ±â¼úÀÇ ÃÖ±Ù µ¿Çâ ¹× Àü¸Á(ÁÂÀå: À¯ºÀ¿µ), ÀÚ¿øÀçȰ¿ë(ÁÂÀå: ±èÈ«ÀÎ), Ç¥¸éÁø°øÁõÂø(ÁÂÀå: ¹®°æÀÏ), ±âŸ °ü·Ã ºÐ¾ß(ÁÂÀå: ¼ÕÀÎÁØ) µî 10°³ ºÐ¾ß¿Í Ç¥¸é󸮰½Àȸ, Àåµµ¿¬ ¹Ú»ç Á¤³â ±â³ä ½ÉÆ÷Áö¾öÀ¸·Î ³ª´µ¾îÁ® 4°³ÀÇ ¹ßÇ¥Àå¿¡¼ ÁøÇàµÆ´Ù.
26ÀÏ ¹ßÇ¥°¡ ¸¶¹«¸® µÈ ÈÄ ÀÌ¾î¼ ÃÑȸ°¡ ÁøÇàµÆ´Ù. ÀÌÈ«±â ȸÀåÀº ¡°ÇÐȸ¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ ³ô¾ÆÁö´Â °Í °°¾Æ º¸¶÷ÀÌ Å©°í Âü¼®ÇØ ÁֽЏðµç ºÐµé²² °¨»çÀÇ ¸¶À½À» ÀüÇÏ¸ç º» Çà»ç°¡ Çѱ¹ Ç¥¸é󸮻ê¾÷°è¸¦ ÇÑ ´Ü°è ¼ºÀå½ÃŰ´Â ¹Ø°Å¸§ÀÌ µÉ ¼ö Àֱ⸦ ±â¿øÇÑ´Ù.¡±¶ó°í Àλ縻À» ÀüÇß´Ù. ÃÑȸ¿¡¼´Â Ãß°èÇмú´ëȸÀÇ ½Ã»ó½Ä°ú ÇÐȸÀÇ È¸¹«º¸°í, ½ÉÀÇÀÇ°á ¾È°Ç µîÀÌ ³íÀǵǾú´Ù. Çмú»ó, ³í¹®»ó, ±â¼ú»ó, Ưº°°ø·Î»ó µî¿¡ ÃÑ 9¸íÀÇ Æ÷»óÀÚ°¡ ³ª¿ÔÀ¸¸ç Àç·á¿¬±¸¼Ò Àåµµ¿¬ ¹Ú»ç¿Í »ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø ¾ç¼¼ÈÆ ¿¬±¸¿øÀÇ Á¤³â±â³äÆÐ ¼ö¿©½ÄÀÌ ÁøÇàµÆ´Ù.
22´ë Ç¥¸é°øÇÐȸ ȸÀå ¼±Ãâ
27ÀÏ ¿¸° ÆòÀÇ¿øÈ¸¿¡¼´Â Á¶¼±´ëÇб³ ÃÖÇÑö(Ä¡°ú´ëÇÐ ±âÃÊÄ¡ÀÇÇаú) ±³¼ö°¡ Çѱ¹Ç¥¸é°øÇÐȸ 22´ë ȸÀåÀ¸·Î ¼±ÀÓÀÌ µÆ´Ù. ÃÖÇÑö ±³¼ö´Â 1989³âºÎÅÍ ÇÐȸ Á¾½Åȸ¿øÀ¸·Î °¡ÀÔÇßÀ¸¸ç »ýüÀç·áºÐ°úÀ§¿øÀå, Ãѹ«ÀÌ»ç, ³²ºÎÁöȸÀå ¹× ºÎȸÀåÀ» ¸ÃÀ¸¸é¼ Á÷¹«´É·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ À̹ø¿¡ ´Üµ¶ ÃßõµÅ ¸¸ÀåÀÏÄ¡·Î ¼±ÀӵƴÙ. ÀÓ±â´Â 2016³â 1¿ù 1ÀϺÎÅÍ 2³âÀÌ´Ù.
¤ÓÃß°èÇмú´ëȸ ÃÊû°¿¬ ¹× Çмú¹ßÇ¥ ¸®ºä¤Ó
´ÜÀÏ Ã·°¡Á¦¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °üÅë ½Ç¸®ÄÜ ºñ¾ÆÀÇ ±¸¸® ÃæÁø °øÁ¤ ¿¬±¸
- ÇѾç´ëÇб³ Àç·á°øÇаú À¯ºÀ¿µ ±³¼ö
¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·ÎÀÇ ¼º´ÉÀ» Áö¼öÀûÀ¸·Î Áõ°¡½ÃŰ´Â ±âÃÊ ±â¼ú·Î ÀÎÇØ ¹è¼±Æø ¹Ì¼¼È ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇß°í ±Ý¼Ó¹è¼±ÀÌ ¹è¼±Æø ¹Ì¼¼È¿¡ µû¸¥ ¹°¸®Àû ÇѰ迡 ºÎµúÈ÷°Ô µÇ¹Ç·Î 3Â÷¿ø ¹è¼± °øÁ¤À¸·Î TSV±â¼úÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°Ô µÆ´Ù. TSV³»ºÎ¿¡ Àü±âµµ±ÝÀ» ÅëÇÏ¿© Cu¸¦ ä¿ì´Â TSV filling process´Â voidÀÇ Çü¼º ¾øÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ®¾ß ÇϹǷΠ´Ù¾çÇÑ Ã·°¡Á¦°¡ »ç¿ëµÇ´Âµ¥ ¾ïÁ¦Á¦¸¸À» ÀÌ¿ëÇÑ TSV fillingÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù ¿©°Ü ¿¬±¸¸¦ ÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. ¿¬±¸¿¡ »ç¿ëµÈ ¾ïÁ¦Á¦´Â µ¶ÀÚÀûÀ¸·Î °³¹ßµÈ °íºÐÀÚ ¹°Áú·Î 1M Ȳ»ê±¸¸® ¼ö¿ë¾× ³»¿¡ ¾ïÁ¦Á¦ÀÇ ³óµµ¸¦ 0ppm¿¡¼ 300ppm±îÁö ³ôÀÌ¸ç ¼øÈ¯ Àü¾Ð-Àü·ù¹ýÀ» ½ÇÇàÇß´Ù. ±× °á°ú 100ppmÀÇ ¾ïÁ¦Á¦¸¦ »ç¿ëÇÑ °æ¿ì ÃÖÀûÀÇ Cu TSV filling Á¶°ÇÀÌ È®º¸µÇ¾ú°í 1,000ÃÊ ³»¿¡ void-free TSV fillingÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ³´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÏ¸ç °¿¬À» ¸¶ÃÆ´Ù.
SWÀ¶ÇÕ°ú IT±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Ç¥¸éó¸®ÀÇ ½º¸¶Æ® Á¦¾î
- »ïÀϱݼÓ(ÁÖ) ¿ìÁöÈÆ ÀÌ»ç
6´ë »Ñ¸®»ê¾÷ÀÇ ÇϳªÀΠǥ¸éó¸® ºÐ¾ß´Â ÃÖ±Ù Çѱ¹ ÀÚµ¿Â÷ ½ÃÀåÀÇ È®´ë¿Í ÀüÀÚ¾÷°èÀÇ ¼±ÀüÀ¸·Î »ç¶÷¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ¿© »ý»êÇÏ´Â Àη Áß½ÉÀû »ý»ê¿¡¼ ±â°è¿Í ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÀåÄ¡ »ê¾÷À¸·ÎÀÇ ÀüȯÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ³´Ù. ±×·¯¹Ç·Î »ý»ê¶óÀο¡¼ÀÇ ¸ðµç °øÁ¤¼öÄ¡¿Í ±â°è ÀÛµ¿¿¡ »ý»ê¼º ¹× ǰÁúÀÌ Á÷°áµÇ¾î ÀÖ¾î Àå¼Ò¿Í ½Ã°£ÀÇ ±¸¾Ö¸¦ ¹ÞÁö ¾Ê´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾îÀÇ °³¹ß°ú IT ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ½º¸¶Æ® Á¦¾î¿ÍÀÇ À¶ÇÕÀÌ ²À ÇÊ¿äÇÑ ½ÃÁ¡À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
½º¸¶Æ® Á¦¾î¸¦ ÅëÇØ ¼³ºñ 2°¡µ¿·üÀÌ Áõ°¡µÇ¾î »ý»ê·ÂÀÌ Áõ´ëµÇ°í °øÁ¤°ü¸® ´É·ÂÀÌ Çâ»óµÇ¸ç ºÒ·®·üÀÌ °¨¼ÒµÇ´Â Á¤·®Àû ±â´ë È¿°ú¸¦ ¾ò¾ú´Ù. ¶ÇÇÑ Ç®¸®Áö ¾Ê´Â Ç¥¸é󸮾÷üÀÇ Àü¹®Àη ±¸Àγ ÇØ¼Ò¿¡µµ µµ¿òÀ» ÁÖ°í ǰÁú¾ÈÁ¤¿¡ µû¸¥ ´ë¿Ü ½Å·Úµµ Çâ»ó°ú ¼±ÁøÈ ±â¾÷À¸·ÎÀÇ ÀüȯÀ» ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â È¿°úµµ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù.
ÀÚ¿øÀçȰ¿ë(ÁÂÀå: ±èÈ«ÀÎ)
ÀÌ¿¡ ÀÚ¿øÀçȰ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼´Â ÁÖ¼® ÇÔÀ¯ ÆóÀÚ¿øÀ̳ª ÁÖ¼®µµ±Ý Æó¾×, ¼Ö´õ µî¿¡¼ ÁÖ¼® ȸ¼ö ¹× ÀçȰ¿ë ¹æ¾È¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸µéÀÌ ¹ßÇ¥µÆ´Ù. °íµî±â¼ú¿¬±¸¿ø Á¤Ç×ö ¿¬±¸¿øÀº ¡®ÁÖ¼® ÇÔÀ¯ ÆóÀÚ¿øÀ¸·ÎºÎÅÍ ÁÖ¼® ȸ¼ö ¹× ÀçȰ¿ë ¹æ¾È ¿¬±¸¡¯¶õ ÁÖÁ¦·Î ½À½Ä ºÐ¸® °øÁ¤ ±â¼úÀÎ HNO3/H2O2 È¥ÇÕ ¿ë¾×¿¡ ÀÇÇÑ Ä§Ãâ °øÁ¤À¸·Î ÁÖ¼®ÇÔÀ¯ ºÐ¸»À» ȸ¼öÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» ¿¬±¸Çß´Ù.
À̾î ÀÎõÈÇÐ °¿ëÈ£ ¿¬±¸¼ÒÀåÀº ¡®ÁÖ¼®µµ±ÝÆó¾×À¸·ÎºÎÅÍ À̿±³È¯¼öÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÁÖ¼® ȸ¼ö¡¯ ¹ßÇ¥¿¡¼ Ưº°ÇÑ À̿±³È¯¼öÁö¸¦ »ç¿ëÇÒ °æ¿ì µµ±ÝÆó¾×ÀÇ pH¸¦ Á¶ÀýÇØ ÁÖ¼®ÀÇ È¸¼ö°¡ °¡´ÉÇÔÀ» È®ÀÎÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø À¶ÇÕ°øÁ¤½Å¼ÒÀç±×·ìÀÇ ±è¿ëȯ ¿¬±¸¿øÀÇ ¡®ÀüÇØÁ¤·Ã ¹× Áø°øÁ¤·Ã °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ °í¼øµµ ÁÖ¼® ȸ¼ö ±â¼ú¡¯, ¼ºÀÏÇÏÀÌÅØ ±èÈ«ÀÎ ¿¬±¸¿øÀÇ ¡®ÁÖ¼® ÆóÀÚ¿øÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀüÇØÁ¤·Ã °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ °í¼øµµ ÁÖ¼®ÀÇ È¸¼ö¡¯¹ßÇ¥¿¡¼µµ ÁÖ¼® ȸ¼ö±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇß´Ù. ¸¶Áö¸·À¸·Î ´ëÁø´ëÇб³ ·ù½ÂÇü ¿¬±¸¿øÀº Æó¼Ö´õ ¹Ú¸®¾×À¸·ÎºÎÅÍ ¿Á»ì»ê ħÀü¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇØ ±¸¸® ³³, ö µîÀÇ À¯°¡±Ý¼ÓÀ» ȸ¼öÇÏ´Â ¡®ÁÖ¼®/¼Ö´õ Æó¾×À¸·ÎºÎÅÍ À¯°¡ÀÚ¿øÀÇ È¸¼ö¡¯¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù.